- 5mm
- 10mm
- 20mm
- 60mm
- 120mm
- 100mm
- 300mm
行程5mm
台面尺寸60x60mm
步进电机五相步进马达/28双轴
中心承载3kg
重复定位精度±1μm
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行程10mm
台面尺寸60x60mm
步进电机东方马达/步进电机
中心承载4kg
最小调整量5μ
重复定位精度±3μm
空回5μm
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行程100mm
台面尺寸180x120mm
步进电机42BYG
中心承载30kg
最小调整量0.2μ
重复定位精度5μ
空回4μ
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行程60mm
台面尺寸120x80mm
步进电机42BYG
中心承载5kg
最小调整量5μ
重复定位精度10μ
空回4μ
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行程20mm
台面尺寸120x120mm
步进电机五相步进马达/42BYG
中心承载10kg
重复定位精度±1.5μm
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行程20mm
台面尺寸60x60mm
步进电机东方马达/步进电机
中心承载4kg
重复定位精度±3μm
空回5μm
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行程300mm
台面尺寸400x200mm
步进电机57BYG
中心承载50kg
最小调整量0.8μ
重复定位精度5μ
空回4μ
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行程120mm
台面尺寸220x140mm
步进电机42BYG
中心承载10kg
最小调整量5μ
重复定位精度10μ
空回4μ
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