氧化锌,ZnO
氧化锌(ZnO) 是很好的GaN薄膜衬底材料，具有60mev的激子束缚能以及室温下3.73ev带宽使之成为紫外以及可见光发光材料．同时由于具有可见区透明，机电耦合系数大，能使气体分子在其表面的吸附－解析等性质,有望在高峰值能量的能量限制器、大直径高质量的GaN的衬底、未来的5GHz之外的无线通信、高电场设备、高温高能电子器件、高电场设备、高温高能电子器件等方面得到广泛应用。
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主要性能参数 |
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晶体结构 |
六方 |
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晶格常数 |
a=3.252Å c=5.313 Å |
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密度 |
5.7（g/cm3） |
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生长方法 |
水热法 |
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硬度 |
4（mohs） |
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熔点 |
1975℃ |
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热膨胀系数 |
6.5 x 10-6 /℃//a 3.7 x 10-6 /℃//c |
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热 容 |
0.125 cal /g.m |
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热电常数 |
1200 mv/k @ 300 ℃ |
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热 导 |
0.006 cal/cm/k |
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透过范围 |
0.4-0.6 um > 50% at 2mm |
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晶向 |
<0001>、<11-20>、<10-10>±0.5º |
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尺寸（mm） |
25×25×0.5mm、10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、5×5×0.5mm 可按照客户需求，定制特殊方向和尺寸的衬底 |
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表面粗糙度 |
Surface roughness(Ra):<=5A |
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抛光 |
单面或双面 |
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包装 |
100级洁净袋，1000级超净室 |
