氧化镁(MgO)单晶基片广泛应用在多个薄膜技术领域中。如用于制作磁学薄膜、半导体薄膜、光学薄膜和高温超导薄膜等。由于MgO单晶在微波波段的介电常数和损耗都很小,且能得到大面积的基片(直径2英吋及更大),所以是当前产业化的重要高温超导薄膜单晶基片之一。 可用于制作移动通讯设备所需的高温超导微波滤波器等器件,具有很大的现实及潜在应用市场。
主要性能参数 |
|
生长方法 |
电弧法 |
晶体结构 |
立方 |
晶格常数 |
a=4.130 Å |
熔点 |
2800(℃) |
纯度 |
99.95% |
密度 |
3.58(g/cm3) |
硬度 |
5.5(mohs) |
热膨胀系数 |
11.2x10-6(/℃) |
晶体解理面 |
<100> |
光学透过 |
>90%(200~1000nm) |
介电常数 |
ε= 9.65 |
热导率 |
36 W/m.k @ 300°K |
尺寸 |
5x5,10x10,20x20,30x30mm ,Ø50.8 mm |
厚度 |
0.5mm,1.0mm |
抛光 |
单面或双面 |
晶向 |
<001>, <110>,<111> |
晶面定向精度: |
±0.5° |
边缘定向精度: |
2°(特殊要求可达1°以内) |
Ra: |
≤5Å(5µm×5µm) |
包装 |
100级洁净袋,1000级超净室 |